The Measurement of the Thickness of Thin SiC Layers on Silicon

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G. Pensl, H. Morkoç, B. Monemar and E. Janzén

页数:

641-644

引用:

V. Cimalla et al., "The Measurement of the Thickness of Thin SiC Layers on Silicon", Materials Science Forum, Vols. 264-268, pp. 641-644, 1998

上线时间:

February 1998

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